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以光學(xué)技術(shù)為核心的智能裝備企業(yè)！
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以光學(xué)技術(shù)為核心的智能裝備企業(yè)！
自動晶圓圖形缺陷 AOI 檢測設(shè)備
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1
高分辨率顯微鏡光學(xué)系統(tǒng);
2
明場暗場光學(xué)檢測;兼容雙面快速檢測;高精度XYR精密平臺
3
MAPPING圖輸出;EFEM上下料，避免人工操作帶來二次損傷
4
可拓展3D測量模塊，紅外測量模塊
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