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1、高分辨率顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)

2、明場(chǎng)暗場(chǎng)光學(xué)檢測(cè)；兼容雙面快速檢測(cè)

3、高精度XYR精密平臺(tái)

4、Magazine 上料方式；MAPPING圖輸出

5、可拓展3D測(cè)量模塊，紅外測(cè)量模塊